Übertragung von Verspannung durch Sequentielles Bereitstellen eines Hochvergespannten Ätzstoppmaterials und eines Zwischenschichtdielektrikums in einem Kontaktschichtstapel einer Halbleiteranordnung

EP2220676 Art B1 26. Dezember 2018

Anmelder: Advanced Micro Devices, Inc., ADVANCED MICRO DEVICES, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2220676
Aktenzeichen
EP08843938
Anmeldetag
28. Oktober 2008
Veröffentlichung
26. Dezember 2018
Erteilung
26. Dezember 2018
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/8234H01L21/8238H01L21/768H01L29/78
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Advanced Micro Devices, Inc.
ADVANCED MICRO DEVICES, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Advanced Micro Devices

US-amerikanischer Halbleiterhersteller (AMD) mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien, bekannt für Prozessoren, Grafikchips und Server-CPUs.

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