Mikrostrukturinspektionsvorrichtung und Mikrostrukturinspektionsverfahren
EP2221614
Art A1
25. August 2010
Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2221614
- Aktenzeichen
- EP08854451
- Anmeldetag
- 26. November 2008
- Veröffentlichung
- 25. August 2010
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N29/12G01N29/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Tokyo Electron Limited
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Tokyo Electron
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
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Vertreten von
Weitzel, Wolfgang
Heidenheim, Deutschland
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