Lichtempfindliche Harzzusammensetzung des Positivtyps, Verfahren zur Herstellung einer Resiststruktur und Halbleiterbauelement

EP2221666 Art B1 18. September 2013

Anmelder: Hitachi Chemical Company, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2221666
Aktenzeichen
EP08848939
Anmeldetag
7. November 2008
Veröffentlichung
18. September 2013
Erteilung
18. September 2013
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/023G03F7/40H01L23/31
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Hitachi Chemical Company, Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Hitachi Chemical

Ehemaliges japanisches Chemieunternehmen, das Materialien für Halbleiter, Batterien und Verbundwerkstoffe herstellte. Ging nach mehreren Umfirmierungen im Konzern Resonac auf.

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Kanzlei
Kraus & Weisert München, Deutschland

Schon mit Eröffnung des Europäischen Patentamts 1977 gehörte Kraus & Weisert zu den ersten Kanzleien, die US-amerikanische und japanische Mandanten dort vertraten. Nach Fusion mit der 1934 gegründeten Lederer & Keller firmiert sie als Kraus & Lederer, mit China Desk in München.

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