Verfahren zur Herstellung eines Kupferfilms

EP2221864 Art B1 11. April 2018

Anmelder: Ulvac, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2221864
Aktenzeichen
EP10163473
Anmeldetag
4. Dezember 2006
Veröffentlichung
11. April 2018
Erteilung
11. April 2018
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/768H01L23/532
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Ulvac, Inc.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

1.137 Patente in unserer Datenbank

Weitere Vertreter

Noch Fragen?

Wir helfen Ihnen gerne weiter. Schreiben Sie uns einfach.

Kontakt aufnehmen