Plasmaverarbeitungsvorrichtung, Plasmaverarbeitungsverfahren

EP2224468 Art B1 14. August 2013

Anmelder: Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2224468
Aktenzeichen: EP10166701
Anmeldetag: 17. Juni 2003
Veröffentlichung: 14. August 2013
Erteilung: 14. August 2013
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/32C23C16/507

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Mitsubishi Heavy Industries, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Heavy Industries

Japanischer Industriekonzern, der in Bereichen wie Energieerzeugung, Luft- und Raumfahrt, Schiffbau, Maschinenbau und Klimatechnik tätig ist und ein breites Spektrum an Industrieanlagen und -maschinen herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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