Verfahren zum Reinigen eines Siliziumwafers
EP2224470
Art B1
23. März 2016
Anmelder: SUMCO Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2224470
- Aktenzeichen
- EP08857296
- Anmeldetag
- 21. November 2008
- Veröffentlichung
- 23. März 2016
- Erteilung
- 23. März 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/306H01L21/67H01L21/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- SUMCO Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Sumco
Sumco ist ein japanischer Hersteller von Siliziumwafern für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich entsprechend auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.
658 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Lehmann, Judith Christina
Stuttgart, Deutschland
95
Patente gesamt
19
Fachgebiete
8
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
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Deissler, K. Michael
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