Verfahren zum Reinigen eines Siliziumwafers

EP2224470 Art B1 23. März 2016

Anmelder: SUMCO Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2224470
Aktenzeichen
EP08857296
Anmeldetag
21. November 2008
Veröffentlichung
23. März 2016
Erteilung
23. März 2016
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/306H01L21/67H01L21/02
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
SUMCO Corporation
Land
🇯🇵 Japan

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Vertreten von
Lehmann, Judith Christina Stuttgart, Deutschland
95
Patente gesamt
19
Fachgebiete
8
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Software & Datenverarbeitung Nachrichtentechnik & Telekommunikation Akustik, Musik & Datenspeicherung Fahrzeugtechnik (Automobil, Bahn & Schiff) Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
Zum Anwaltsprofil
Weitere Vertreter

Noch Fragen?

Wir helfen Ihnen gerne weiter. Schreiben Sie uns einfach.

Kontakt aufnehmen