Verarbeitungsverfahren und Halbleiterherstellungsverfahren

EP2224475 Art A1 1. September 2010

Anmelder: Sumitomo Electric Industries, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2224475
Aktenzeichen: EP08861860
Anmeldetag: 12. Dezember 2008
Veröffentlichung: 1. September 2010
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/677C23C16/44H01L21/205H01L21/31G01L11/00G01N5/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Sumitomo Electric Industries, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sumitomo Electric Industries

Japanischer Technologiekonzern mit Sitz in Osaka, Teil der Sumitomo-Gruppe. Aktiv in Kabel- und Glasfasertechnologie, Halbleitern, Automobilkomponenten sowie Elektronik- und Werkstofftechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Metallurgie & Oberflächentechnik

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