Indium-Target für Sputtereinrichtungen sowie Anordnung und Verfahren zur Herstellung solcher Indium-Targets

EP2228464 Art B1 26. Dezember 2012

Anmelder: FHR Anlagenbau GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2228464
Aktenzeichen: EP10155360
Anmeldetag: 3. März 2010
Veröffentlichung: 26. Dezember 2012
Erteilung: 26. Dezember 2012
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/34B23D23/00

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: FHR Anlagenbau GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

Vertreten von

Hudler, Frank Dresden, Deutschland

48

Patente gesamt

18

Fachgebiete

9

Anmelder-Länder

Schwerpunkte

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Verfahrens- & Trenntechnik Elektronik & Schaltungstechnik Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen) Medizintechnik & Gesundheit

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