Beschichtungs- und Entwicklungsvorrichtung, Beschichtungs- und Entwicklungsverfahren und Aufzeichnungsmedium

EP2228684 Art A3 22. August 2012

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2228684
Aktenzeichen: EP10002420
Anmeldetag: 9. März 2010
Veröffentlichung: 22. August 2012
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G03F7/00G03F7/16// H01L21/67H01L21/677

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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