Verfahren zur Überwachung von Plasma-Entladungen

EP2228818 Art B1 15. August 2018

Anmelder: Schott AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2228818
Aktenzeichen: EP10155304
Anmeldetag: 3. März 2010
Veröffentlichung: 15. August 2018
Erteilung: 15. August 2018
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Schott AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 SCHOTT

Deutsches Technologieunternehmen mit Sitz in Mainz, spezialisiert auf Spezialglas und Glaskeramik für Pharma-, Optik-, Elektronik- und Haushaltsanwendungen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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