Textur- und Reinigungsmedium zur Oberflächenbehandlung von Wafern und dessen Verwendung
EP2229431
Art B1
20. Februar 2013
Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2229431
- Aktenzeichen
- EP08856592
- Anmeldetag
- 8. Dezember 2008
- Veröffentlichung
- 20. Februar 2013
- Erteilung
- 20. Februar 2013
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C11D7/06C11D7/26C11D7/32C11D11/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Fraunhofer-Gesellschaft
Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.
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