Abscheidungsvorrichtung mit drehbarem Sputtertarget und Betriebsverfahren dafür

EP2230325 Art A1 22. September 2010

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2230325
Aktenzeichen: EP09155752
Anmeldetag: 20. März 2009
Veröffentlichung: 22. September 2010
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/34C23C14/35

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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