Befestigungsmechanismus für Testsondenkarte
EP2230527
Art A3
2. März 2011
Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2230527
- Aktenzeichen
- EP10005629
- Anmeldetag
- 29. Oktober 2003
- Veröffentlichung
- 2. März 2011
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01R31/28
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Tokyo Electron Limited
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Tokyo Electron
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
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Vertreten von
Gleiss, Alf-Olav
Stuttgart, Deutschland
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