Vorrichtung mit Plasmabrenner zur Reinigung eines Halbleitermaterials
EP2231518
Art B1
3. August 2011
Anmelder: EFD Induction SA, Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives, Centre National de la Recherche Scientifique, FERROPEM, Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2231518
- Aktenzeichen
- EP08867613
- Anmeldetag
- 24. Dezember 2008
- Veröffentlichung
- 3. August 2011
- Erteilung
- 3. August 2011
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C01B33/037C01B33/02C30B29/06C30B11/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- EFD Induction SA
Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
Centre National de la Recherche Scientifique
FERROPEM
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇫🇷
Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
Französische staatliche Forschungsorganisation mit Sitz in Paris. Betreibt Grundlagen- und angewandte Forschung in nahezu allen wissenschaftlichen Disziplinen über zahlreiche Institute und Labore.
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Vertreten von
de Beaumont, Michel
Grenoble, Frankreich
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