Ionisationsmessgerät mit Elektronenmultiplikator-Kaltemissionsquelle
EP2232224
Art A2
29. September 2010
Anmelder: MKS Instruments, Inc., Brooks Automation, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2232224
- Aktenzeichen
- EP08868368
- Anmeldetag
- 17. Dezember 2008
- Veröffentlichung
- 29. September 2010
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01L21/34G01N27/64H01J41/06
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- MKS Instruments, Inc.
Brooks Automation, Inc. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
MKS Instruments
MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.
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Vertreten von
Jenkins, Peter David
London, Großbritannien
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