Ansteuerungslaser für Euv-Lichtquelle

EP2232330 Art B1 31. August 2016

Anmelder: ASML Netherlands B.V., ASML Netherlands BV, Cymer, LLC, Cymer, Inc. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2232330
Aktenzeichen: EP08866153
Anmeldetag: 5. Dezember 2008
Veröffentlichung: 31. August 2016
Erteilung: 31. August 2016
Rechtsraum: EP
IPC: G02F1/35H05G2/00H01S3/23G03F7/20H05H1/24H01S3/00H01S3/115H01S3/225H01S3/223

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: ASML Netherlands B.V.
ASML Netherlands BV
Cymer, LLC
Cymer, Inc.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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