Verfahren zur Herstellung von Grossflächigen Vakuumplasmabehandelten Substraten und Vakuumplasmabehandlungsvorrichtung
EP2232521
Art A1
29. September 2010
Anmelder: TEL Solar AG, Oerlikon Solar AG, Trübbach, OERLIKON SOLAR IP AG, TRÜBBACH 🇨🇭
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2232521
- Aktenzeichen
- EP08864702
- Anmeldetag
- 19. Dezember 2008
- Veröffentlichung
- 29. September 2010
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/32
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- TEL Solar AG
Oerlikon Solar AG, Trübbach
OERLIKON SOLAR IP AG, TRÜBBACH - Land
- 🇨🇭 Schweiz
Fachgebiete
Vertreten von
Kreutz, Thomas J
Zumikon, Schweiz
12
Patente gesamt
6
Fachgebiete
2
Anmelder-Länder
Schwerpunkte