Verfahren und System zur Herstellung von Dreidimensionalen Strukturen mit Submikrometer- und Mikrometerstrukturelementen

EP2232529 Art A2 29. September 2010

Anmelder: 3M Innovative Properties Company 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2232529
Aktenzeichen: EP08868855
Anmeldetag: 2. Dezember 2008
Veröffentlichung: 29. September 2010
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/027G03F7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: 3M Innovative Properties Company
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 3M Innovative Properties

US-amerikanische Tochtergesellschaft des Mischkonzerns 3M, verwaltet Patente und geistiges Eigentum für Produkte aus Bereichen Klebetechnik, Materialwissenschaft und Konsumgüter.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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