Verfahren zur Lokalen Ätzung der Oberfläche eines Substrats
EP2232532
Art A2
29. September 2010
Anmelder: Centre National de la Recherche Scientifique 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2232532
- Aktenzeichen
- EP08872521
- Anmeldetag
- 23. Dezember 2008
- Veröffentlichung
- 29. September 2010
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/033H01L21/3065H01L21/308H01L21/3105H01L21/311B81C1/00B82Y10/00B82Y40/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Centre National de la Recherche Scientifique
- Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇫🇷
Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
Französische staatliche Forschungsorganisation mit Sitz in Paris. Betreibt Grundlagen- und angewandte Forschung in nahezu allen wissenschaftlichen Disziplinen über zahlreiche Institute und Labore.
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Vertreten von
Reboussin, Yohann Mickaël Noël
Paris, Frankreich
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