Optisches Beugungssystem und Optische Anordnung

EP2233958 Art B1 29. März 2017

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2233958
Aktenzeichen
EP08863000
Anmeldetag
12. Dezember 2008
Veröffentlichung
29. März 2017
Erteilung
29. März 2017
Rechtsraum
EP
IPC
G02B21/00G02B5/18G02B25/00G03B21/14
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Nikon Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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