Zusammensetzung zur Erzeugung eines Antireflexfilms und die Zusammensetzung Verwendendes Strukturerzeugungsverfahren

EP2233978 Art B1 28. November 2018

Anmelder: Merck Patent GmbH, AZ Electronic Materials USA Corp., AZ Electronic Materials (Japan) K.K. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2233978
Aktenzeichen
EP08863406
Anmeldetag
12. Dezember 2008
Veröffentlichung
28. November 2018
Erteilung
28. November 2018
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/11G03F7/09C08F216/06C08F220/10C08F226/10H01L21/027
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Merck Patent GmbH
AZ Electronic Materials USA Corp.
AZ Electronic Materials (Japan) K.K.
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Merck KGaA

Deutsches Pharma- und Chemieunternehmen mit Sitz in Darmstadt. Aktiv in Biopharmazeutika, Life-Science-Technologien sowie elektronischen Materialien für Halbleiter- und Displayindustrie. Nicht zu verwechseln mit dem US-Unternehmen Merck & Co.

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