Optisches Beleuchtungssystem, Belichtungsvorrichtung und Bauelementeherstellungsverfahren

EP2234141 Art A1 29. September 2010

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2234141
Aktenzeichen: EP08861567
Anmeldetag: 4. November 2008
Veröffentlichung: 29. September 2010
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/027G02B19/00G02B26/08G03F7/20G02B17/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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