Verfahren zur Herstellung von Mikroelektromechanischen Systemen

EP2235742 Art B1 12. Februar 2020

Anmelder: Solvay Fluor GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2235742
Aktenzeichen
EP08863791
Anmeldetag
16. Dezember 2008
Veröffentlichung
12. Februar 2020
Erteilung
12. Februar 2020
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/3065H01L21/3213B81C1/00
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Solvay Fluor GmbH
Land
🇩🇪 Deutschland

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Vertreten von
Mross, Stefan P.M Bruxelles, Belgien
294
Patente gesamt
21
Fachgebiete
7
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Organische Chemie Halbleiter & Elektrische Bauelemente Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Anorganische Chemie & Werkstoffe Verfahrens- & Trenntechnik Kunststoff- & Polymertechnik
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