Verfahren und Vorrichtung zur Charakterisierung einer dünnen Siliziumschicht auf einem lichtdurchlässigen Substrat
EP2237025
Art A2
6. Oktober 2010
Anmelder: Carl Zeiss Microscopy GmbH, Carl Zeiss MicroImaging GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2237025
- Aktenzeichen
- EP10003399
- Anmeldetag
- 30. März 2010
- Veröffentlichung
- 6. Oktober 2010
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N21/84
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Carl Zeiss Microscopy GmbH
Carl Zeiss MicroImaging GmbH - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss Microscopy GmbH
Deutscher Hersteller von Mikroskopen und Bildgebungssystemen für Forschung und Industrie, Teil der Zeiss-Gruppe.
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Fachgebiete
Vertreten von
Loritz, Rainer
Jena, Deutschland
72
Patente gesamt
6
Fachgebiete
1
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