Fotomaskenrohling und Fotomaske

EP2237107 Art B1 16. Mai 2012

Anmelder: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2237107
Aktenzeichen
EP10003481
Anmeldetag
30. März 2010
Veröffentlichung
16. Mai 2012
Erteilung
16. Mai 2012
Rechtsraum
EP
IPC
G03F1/32
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Chemical

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.

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