Verfahren zur Erzeugung von Absorptionsschichten auf Thermischen Strahlungssensoren

EP2238418 Art A1 13. Oktober 2010

Anmelder: Technische Universität Dresden 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2238418
Aktenzeichen: EP09707036
Anmeldetag: 27. Januar 2009
Veröffentlichung: 13. Oktober 2010
Rechtsraum: EP
IPC: G01J5/34H01L37/02C23C14/22

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Technische Universität Dresden
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Technische Universität Dresden

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Metallurgie & Oberflächentechnik

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