Substratbehandlungsvorrichtung, Substratbehandlungsverfahren, Vorelektrodenstruktur, Messelektrodenstruktur und Prozesselektrodenstruktur
EP2239759
Art A3
28. Dezember 2011
Anmelder: Korea Advanced Institute of Science and Technology 🇰🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2239759
- Aktenzeichen
- EP09014045
- Anmeldetag
- 10. November 2009
- Veröffentlichung
- 28. Dezember 2011
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/32
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Korea Advanced Institute of Science and Technology
- Land
- 🇰🇷 Südkorea
🇰🇷
KAIST
Südkoreanische technische Universität und Forschungsinstitution mit Fokus auf Ingenieurwissenschaften, Naturwissenschaften und Technologieentwicklung, unter anderem in Robotik und Elektronik.
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Fachgebiete
Vertreten von
Harrison, Michael Robert
Leeds, Großbritannien
153
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29
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14
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