Selbstausgerichtete Metallmaskenanordnung zur Selektiven Ablagerung von Dünnschichten auf Mikroelektronischen Substraten und Vorrichtungen sowie Verwendungsverfahren

EP2239769 Art B1 6. November 2019

Anmelder: Consejo Superior De Investigaciones Científicas 🇪🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2239769
Aktenzeichen
EP09704593
Anmeldetag
23. Januar 2009
Veröffentlichung
6. November 2019
Erteilung
6. November 2019
Rechtsraum
EP
IPC
C23C14/04H01L23/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Firma
Consejo Superior De Investigaciones Científicas
Land
🇪🇸 Spanien
🇪🇸 Consejo Superior de Investigaciones Científicas

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