Verfahren zum Polieren einer Siliciumfläche anhand einer Ceroxidhaltigen Dispersion

EP2240547 Art B1 7. August 2013

Anmelder: Evonik Degussa GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2240547
Aktenzeichen: EP08872129
Anmeldetag: 12. Dezember 2008
Veröffentlichung: 7. August 2013
Erteilung: 7. August 2013
Rechtsraum: EP
IPC: C09G1/02C09K3/14H01L21/306H01L21/3105

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Evonik Degussa GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Evonik

Deutscher Spezialchemiekonzern mit Sitz in Essen. Entwickelt und produziert Chemikalien, Additive und Materialien für Industrie, Gesundheit, Ernährung und Konsumgüter.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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