Verfahren und Vorrichtung zur Untersuchung und Kontrolle einer Metallisierungslösung
EP2240626
Art B1
15. April 2015
Anmelder: Lam Research Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2240626
- Aktenzeichen
- EP08859699
- Anmeldetag
- 12. Dezember 2008
- Veröffentlichung
- 15. April 2015
- Erteilung
- 15. April 2015
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C25D21/12C23C18/16G05D11/13C25D21/14// G01N21/31G01N21/65G01N21/85G01N21/84
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Lam Research Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Kontrus, Gerhard
Villach, Österreich
229
Patente gesamt
16
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte