Verfahren zur Herstellung Nanometergrosser Elemente mit Gerichteter Selbstanordnung von Blockcopolymeren

EP2240827 Art B1 4. Mai 2016

Anmelder: Micron Technology, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2240827
Aktenzeichen
EP09707891
Anmeldetag
30. Januar 2009
Veröffentlichung
4. Mai 2016
Erteilung
4. Mai 2016
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Micron Technology, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Micron Technology

US-amerikanisches Halbleiterunternehmen mit Sitz in Boise, Idaho. Micron entwickelt und fertigt Speicherchips wie DRAM und NAND-Flash sowie Speicherlösungen für Computer, Mobilgeräte, Rechenzentren und Automobile.

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