Beleuchtungsoptik für die Mikrolithografie
EP2240830
Art B1
1. April 2015
Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH, Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2240830
- Aktenzeichen
- EP08859710
- Anmeldetag
- 20. November 2008
- Veröffentlichung
- 1. April 2015
- Erteilung
- 1. April 2015
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss SMT AG - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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Fachgebiete
Vertreten von
Hofmann, Stefan
Nürnberg, Deutschland
13
Patente gesamt
8
Fachgebiete
2
Anmelder-Länder
Schwerpunkte