Verfahren mit Neuen Metallprekursoren enthaltend Beta-Diketiminato-Liganden

EP2242870 Art B1 20. Juni 2012

Anmelder: L'Air Liquide Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2242870
Aktenzeichen
EP09706245
Anmeldetag
2. Februar 2009
Veröffentlichung
20. Juni 2012
Erteilung
20. Juni 2012
Rechtsraum
EP
IPC
C23C16/18C23C16/40C07C251/12C07F5/00H01L21/314
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
L'Air Liquide Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 Air Liquide

Französischer Konzern für Industriegase und medizinische Gase, gegründet 1902 auf Basis des Luftverflüssigungsverfahrens von Georges Claude. Beliefert Industrie, Gesundheitswesen und Elektronikfertigung mit Gasen und Anlagentechnik.

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