Mehrstufige optische Homogenisierung

EP2244279 Art B1 7. November 2018

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2244279
Aktenzeichen: EP10160623
Anmeldetag: 21. April 2010
Veröffentlichung: 7. November 2018
Erteilung: 7. November 2018
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/00B23K26/06B23K26/073H01L21/268

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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