Optisches Beleuchtungssystem, Belichtungsgerät und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung

EP2244282 Art B1 6. September 2017

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2244282
Aktenzeichen: EP09710500
Anmeldetag: 12. Februar 2009
Veröffentlichung: 6. September 2017
Erteilung: 6. September 2017
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/027G02B3/00G02B3/06G02B3/08G02B5/00G02B7/00G02B19/00G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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