Messverfahren und Vorrichtung zur Charakterisierung eines Halbleiterbauelements

EP2245473 Art B1 29. August 2012

Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., Christian-Albrechts-Universität zu Kiel, Albert-Ludwigs-Universität Freiburg 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2245473
Aktenzeichen
EP09712988
Anmeldetag
23. Februar 2009
Veröffentlichung
29. August 2012
Erteilung
29. August 2012
Rechtsraum
EP
IPC
G01R31/26H01L21/66
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Christian-Albrechts-Universität zu Kiel
Albert-Ludwigs-Universität Freiburg
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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🇩🇪 Albert-Ludwigs-Universität Freiburg

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