Beleuchtungsgerät und Verfahren zur Steuerung der Energie einer Laserquelle

EP2245497 Art B1 14. Dezember 2016

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH, Cymer, LLC, Carl Zeiss Laser Optics GmbH, Cymer, Inc. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2245497
Aktenzeichen: EP09709143
Anmeldetag: 22. Januar 2009
Veröffentlichung: 14. Dezember 2016
Erteilung: 14. Dezember 2016
Rechtsraum: EP
IPC: G02B27/09B23K26/073H01S3/13B23K26/70B23K26/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Carl Zeiss SMT GmbH
Cymer, LLC
Carl Zeiss Laser Optics GmbH
Cymer, Inc.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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