Beleuchtungsgerät und Verfahren zur Steuerung der Energie einer Laserquelle
EP2245497
Art B1
14. Dezember 2016
Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH, Cymer, LLC, Carl Zeiss Laser Optics GmbH, Cymer, Inc. 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2245497
- Aktenzeichen
- EP09709143
- Anmeldetag
- 22. Januar 2009
- Veröffentlichung
- 14. Dezember 2016
- Erteilung
- 14. Dezember 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G02B27/09B23K26/073H01S3/13B23K26/70B23K26/06
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Carl Zeiss SMT GmbH
Cymer, LLC
Carl Zeiss Laser Optics GmbH
Cymer, Inc. - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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🇺🇸
Cymer
Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.
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