Verfahren zur Strukturierten Ätzung von Gewähltem Material

EP2245655 Art A1 3. November 2010

Anmelder: NewSouth Innovations Pty Limited 🇦🇺

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2245655
Aktenzeichen: EP09706758
Anmeldetag: 29. Januar 2009
Veröffentlichung: 3. November 2010
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/311C23F1/00H01L31/18

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: NewSouth Innovations Pty Limited
Land: 🇦🇺 Australien

🇦🇺 NewSouth Innovations

NewSouth Innovations ist die Technologietransfer-Gesellschaft der University of New South Wales in Australien. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Medizintechnik, ergänzt durch Mess- und Prüftechnik sowie Pharma- und Biotechnologie. Anmeldungen reichen von 2000 bis in die Gegenwart.

481 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von