Für die Erzeugung von Strahlung Konstruiertes und Konfiguriertes Gerät, Lithographie-Vorrichtung und Geräteherstellungsverfahren

EP2245910 Art A1 3. November 2010

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2245910
Aktenzeichen
EP09715969
Anmeldetag
23. Februar 2009
Veröffentlichung
3. November 2010
Rechtsraum
EP
IPC
H05G2/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ASML Netherlands B.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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