Mehrphasen-Hf-Steuerung der Elektrode einer Plasmakammer

EP2245912 Art A2 3. November 2010

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2245912
Aktenzeichen: EP09820920
Anmeldetag: 31. Januar 2009
Veröffentlichung: 3. November 2010
Rechtsraum: EP
IPC: H05H1/36H01L21/205H01L21/3065

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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