Dünnfilm aus Aluminiumnitrid und Verfahren zur Herstellung des Dünnfilms aus Aluminiumnitrid

EP2246458 Art B1 9. Oktober 2013

Anmelder: Sumitomo Electric Industries, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2246458
Aktenzeichen: EP09714366
Anmeldetag: 18. Februar 2009
Veröffentlichung: 9. Oktober 2013
Erteilung: 9. Oktober 2013
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/06C30B29/38C23C14/28C30B23/02C30B29/40

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Sumitomo Electric Industries, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sumitomo Electric Industries

Japanischer Technologiekonzern mit Sitz in Osaka, Teil der Sumitomo-Gruppe. Aktiv in Kabel- und Glasfasertechnologie, Halbleitern, Automobilkomponenten sowie Elektronik- und Werkstofftechnik.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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