Verfahren zur Erstellung einer Defektkarte von auf einem Träger, insbesondere einem Halbleiter-Wafer, befindliche Einzelkomponenten, insbesondere Halbleiter-Bauelementen

EP2246708 Art A1 3. November 2010

Anmelder: Micronas GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2246708
Aktenzeichen: EP09006004
Anmeldetag: 30. April 2009
Veröffentlichung: 3. November 2010
Rechtsraum: EP
IPC: G01R31/28H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Micronas GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Micronas

Micronas war ein deutsch-schweizerisches Halbleiterunternehmen mit Sitz in Freiburg, das inzwischen zu TDK gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Mess-, Prüf- und Zeitmesstechnik sowie Nachrichtentechnik und Halbleitertechnik. Die Anmeldungen stammen aus den Jahren 2000 bis 2016.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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