Laserrastermikroskop

EP2246724 Art A1 3. November 2010

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2246724
Aktenzeichen
EP09712061
Anmeldetag
20. Februar 2009
Veröffentlichung
3. November 2010
Rechtsraum
EP
IPC
G02B21/00G01N21/64G02B21/16
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Nikon Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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