Verfahren zur Strukturierung einer Schicht aus Silikon
EP2246740
Art B1
28. Dezember 2011
Anmelder: Karlsruher Institut für Technologie 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2246740
- Aktenzeichen
- EP10004378
- Anmeldetag
- 24. April 2010
- Veröffentlichung
- 28. Dezember 2011
- Erteilung
- 28. Dezember 2011
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/075G03F7/32
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Karlsruher Institut für Technologie
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Karlsruher Institut für Technologie
Deutsche Universität und Forschungseinrichtung in Karlsruhe, entstanden aus Fusion von Universität und Großforschungszentrum, mit Lehre und Forschung in Natur-, Ingenieur- und Technikwissenschaften.
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Fachgebiete
Vertreten von
Gärtner, Stephan
Karlsruhe, Deutschland
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18
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1
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