Verfahren zur Herstellung eines SOI-Substrat mit sandgestrahlter Rückseite

EP2246878 Art B1 28. Januar 2015

Anmelder: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2246878
Aktenzeichen
EP10161579
Anmeldetag
30. April 2010
Veröffentlichung
28. Januar 2015
Erteilung
28. Januar 2015
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/304H01L21/762
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Chemical

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.

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