TiO2-Haltiges Quarzglas und Optisches Element für Euv-Lithografie mittels Verwendung Hoher Energiedichten sowie Spezielles Temperaturgesteuertes Verfahren für Seine Herstellung

EP2247546 Art B1 24. Februar 2016

Anmelder: Asahi Glass Company, Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2247546
Aktenzeichen: EP09714723
Anmeldetag: 26. Februar 2009
Veröffentlichung: 24. Februar 2016
Erteilung: 24. Februar 2016
Rechtsraum: EP
IPC: C03C4/00C03C3/06C03C3/076C03B19/14

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Asahi Glass Company, Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 AGC (Asahi Glass)

Japanischer Glas- und Chemiekonzern mit Sitz in Tokio, früher als Asahi Glass Company firmierend. AGC entwickelt Flachglas, elektronische Materialien, Spezialchemikalien sowie Glasprodukte für Automobil-, Bau- und Elektronikindustrie.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe

Vertreten von