Optisches Element, Lithografievorrichtung mit Derartigem Optischen Element und Verfahren zur Herstellung eines Bauelements
EP2247968
Art B1
4. April 2012
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2247968
- Aktenzeichen
- EP09715126
- Anmeldetag
- 24. Februar 2009
- Veröffentlichung
- 4. April 2012
- Erteilung
- 4. April 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G02B5/20G02B5/22G02B5/26G03F7/20G21K1/06G02B5/08
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
3.336 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Slenders, Petrus Johannes Waltherus
Eindhoven, Niederlande
244
Patente gesamt
17
Fachgebiete
2
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Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Slenders, Petrus J. W
NoneEindhoven