Blitzlichtausheilung für Dünnfilme

EP2248155 Art A2 10. November 2010

Anmelder: The Trustees of Columbia University in the City of New York 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2248155
Aktenzeichen
EP09717986
Anmeldetag
27. Februar 2009
Veröffentlichung
10. November 2010
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/02H01L21/268H01L31/0236H01L31/028H01L31/0376H01L31/0392H01L31/072H01L31/18H01L21/67
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
The Trustees of Columbia University in the City of New York
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Columbia University

Private Forschungsuniversität in New York City, gegründet 1754, mit umfangreicher Patentaktivität in Medizin, Biotechnologie und Ingenieurwissenschaften.

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