Mikroverarbeitung von synthetischem Quarzglassubstrat

EP2248778 Art A1 10. November 2010

Anmelder: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2248778
Aktenzeichen
EP10250781
Anmeldetag
15. April 2010
Veröffentlichung
10. November 2010
Rechtsraum
EP
IPC
C03C15/00G03F7/075
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Chemical

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.

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