Siliziumhaltige Resistunterschichtfilmbildungs-Zusammensetzung, die eine Cyclische Aminogruppe Enthält

EP2249204 Art A1 10. November 2010

Anmelder: Nissan Chemical Industries, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2249204
Aktenzeichen
EP09712238
Anmeldetag
16. Februar 2009
Veröffentlichung
10. November 2010
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/11C08G77/26C08G77/388C08L83/08G03F7/26G03F7/075
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Nissan Chemical Industries, Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nissan Chemical Corporation

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, das agrochemische Wirkstoffe, elektronische Materialien sowie Feinchemikalien für die Halbleiterindustrie herstellt. Das Unternehmen wurde 1887 gegründet und hieß bis 2015 Nissan Chemical Industries.

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